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産業技術マップ

Fukuyama city's Industrial technology

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企業No.54

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

TEL 084-945-1359

http://www.adtec-rf.com/

Email: sales@adtec-rf.co.jp

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

21世紀のエネルギー「プラズマ」をキーワードとして、半導体・液晶基板製造工程において主に使用されるプラズマ用高周波電源、マッチングユニット及びその関連機器の開発・製造を行い、世界各国へ販売。また、今後、成長が期待される環境、新素材、医療等の分野において応用できる「大気圧プラズマ」に関する研究開発を積極的に進めている。

製品・部品紹介

プラズマ用高周波電源
製品・部品名 プラズマ用高周波電源
分 類 生産用機械器具
技術分野 設計、組立
説明 主に半導体製造工程において使用される製造装置に搭載するプラズマ用高周波電源。

主に半導体製造工程において最も広く使用されているプラズマを発生させるために用いる機器で、通常マッチングユニットと組み合わせて使用。 
出力、周波数、搭載装置の機種、用途などの組合せにより、様々な種類を保有。
フッ素系地球温暖化ガス分解装置
製品・部品名 フッ素系地球温暖化ガス分解装置
分 類 電気機械器具
技術分野 設計、組立
説明 VAWプラズマ
水壁中でのプラズマ反応により、半導体製造工程で使用されるフロンガスなど地球温暖化ガスを無害な物質に分解して、排出する装置。

高温な大気圧プラズマを利用し、環境改善商品として開発の最終段階にある。
当面の用途は、半導体・液晶製造産業で使用されているエッチング・チャンバークリーニングガスであるPFC、冷蔵庫・空調装置等に用いられる冷媒フロンガスの破壊であり、これらのフッ素系ガスは、水素や酸素と反応し炭酸ガスやフッ化水素(HF)に変化し、有害なHFは、水に吸収され安全に処理される。
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フッ素系地球温暖化ガス分解装置
製品・部品名 マイクロ波プラズマ装置
分 類 電気機械器具
技術分野 設計、組立、その他
説明 医療用マイクロプラスター
低温大気圧プラズマトーチを医療に応用。患部にプラズマを照射して、滅菌処理を行なうシステム。

低温な大気圧プラズマを利用したプラズマトーチの医療への応用。プラズマトーチのバクテリアへの殺菌・滅菌効果を利用し、現在ドイツミュンヘン市内の病院にて臨床試験中。

企業情報

企業名 株式会社アドテックプラズマテクノロジー
企業ナンバー 54
代表者名 藤井修逸(ふじいしゅういつ)
所在地 〒721-0942 広島県福山市引野町五丁目6番10号
TEL 084-945-1359
FAX 084-945-1440
メールアドレス sales@adtec-rf.co.jp
ホームページ http://www.adtec-rf.com/
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創業 1985年
資本金 83,559 万円
従業員 91人
業種 電子部品・デバイス製造業
加工分野 設計、組立、その他
特異技術 プラズマ技術
品質規格取得 ISO9001
製品・部品 1 プラズマ用高周波電源
2 フッ素系地球温暖化ガス分解装置
3 マイクロ波プラズマ装置
会社動向 2004年 東京証券取引所マザーズに株式を上場
2004年 株式会社IDX社を株式取得により子会社化
2005年 イノベーションセンターを広島県福山市に開設
主要取引先 半導体製造装置メーカー(国内、海外)

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