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産業技術マップ

Fukuyama city's Industrial technology

産業技術マップ

企業No.32

株式会社ジェーイーエル

TEL 084-952-5590

http://www.jel-robot.co.jp/

Email: info@jel-robot.co.jp

株式会社ジェーイーエル

半導体ウエハ、液晶ガラス基板搬送ロボットの専門メーカー。

ユーザーの個別ニーズにきめ細かく対応した製品作りと短納期対応を実現。

迅速確実な修理、メンテナンスサービス体制を整備。

製品・部品紹介

3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000シリーズ
製品・部品名 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000シリーズ
分 類 生産用機械器具
技術分野 設計、組立
説明 スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットシリーズ
半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送ロボット
・アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm
・旋回角度:340度
・Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm
・可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下
・クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備
・装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
・動作モニター装備
・制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
・全軸2相パルスモータ使用
・S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
・ウエハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
・チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
・被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000
製品・部品名 4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000
分 類 電気機械器具
技術分野 設計、組立
説明 大型ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボット
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送
・アームバリエーション:550mm、750mm、800mm、820mm
・旋回角度:330度
・耐真空度:1.0×10-6Pa 
・リンク式採用により、優れた直進性、高温対応、低パーティクルを実現
・ツインアーム採用による、基板入れ替え時間の短縮化
・全軸サーボモータ駆動と最適加減速制御により高速、高精度に搬送
・動作モニター装備
・制御方式:RS232C、及びパラレルフォトI/O
さらに製品紹介みる
4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000
製品・部品名 光学式アライナ SAL38C2
分 類 生産用機械器具
技術分野 設計、組立
説明 200~300mm対応
半導体製造装置内、検査装置等のウエハの位置決めを必要とする搬送に対応
・被搬送物:SEMI規格 200~300mmシリコンウエハ
・位置決め時間:センタリング 3sec
・位置決め精度:センタリング ±0.1mm以内 オリフラ(ノッチ)ロケート±0.1度以内
・センサ:可視半導体レーザーセンサ
・サイズ切替:コマンド制御による切替または通信
・クリーン度:ISOクラス2(駆動部排気時)
・駆動方式:2相ステッピングモータ3軸使用 モータドライバ、コントローラ内蔵
・電源/真空:DC24V±10% 3A/53kPa以上
・シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
・クリーン対応:スピンドル側に0.1μmのフィルタ装備
・制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
・従来機種SAL46C6に対して約50%の小フットプリント化を実現

企業情報

企業名 株式会社ジェーイーエル
企業ナンバー 32
代表者名 崎谷信夫(さきやのぶお)
所在地 〒720-0835 広島県福山市佐波町245-1
TEL 084-952-5590
FAX 084-952-5591
メールアドレス info@jel-robot.co.jp
ホームページ http://www.jel-robot.co.jp/
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創業 1993年
資本金 7,457 万円
従業員 120人
業種 電気機械器具製造業
加工分野 設計、組立、その他
特異技術 搬送ロボット技術
品質規格取得 ISO9001、ISO14001
製品・部品 1 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000シリーズ
2 4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000
3 光学式アライナ SAL38C2
会社動向 FPD(フラットパネルディスプレイ)テレビや、デジタル家電並びに半導体分野が増産傾向。
半導体ウエハ、液晶ガラス基板搬送ロボットメーカーとして幅広いユーザーのニーズに対応している。
主要取引先 半導体、液晶製造装置メーカー及び同デバイスメーカー。

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