製品・部品紹介

製品・部品名	研削盤用自動バランサー
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計
説明	砥石を研削盤に装着した状態で、アンバランスを自動制御し、振動を抑制する装置。短時間でしかも簡単操作。研削精度の向上やビビリ対策、研削盤の延命化に貢献する。 〔測定精度〕 ０．０１μｍ単位での測定が可能　 〔回転〕 最高９０００ｒｐｍでのバランス修正が可能　 〔非接触給電〕　非接触間隔ＭＡＸ３ｍｍ実現 高速型カム研削盤用は世界ＮＯ．１の実力を誇る。研削盤とのインターフェイス構築により、完全自動制御も可能。国内の主要研削盤メーカーで採用いただいている国内トップシェア製品

製品・部品名	ウエハ用自動バランス機能付スピンドライヤー
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計
説明	高速回転による遠心力と気流により、ウエハーを乾燥させる装置（特許取得済み）。ウエハー枚数差によるアンバランスを自動で補正しウエハーにダメージを与えず素早い乾燥が可能。４～１２インチ用（マニュアルタイプからインラインタイプ） 〔クリーン〕ダストシールと強制吸引の併用により発塵要因を徹底的にシャットアウト。厳しいパーティクル評価テストをクリアー。 〔振動対策〕ウエハーの枚数差から生じるアンバランスによる回転時の振動を自動で補正し静粛回転が可能。 〔安全対策〕異常振動時自動停止機能、過負荷運転防止機能　（標準装備）

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製品・部品名	テープマウンター
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計
説明	ダイシング工程にて、プリカットされたダイシングテープをウエハーとフレームに貼り付ける装置。感圧テープ、ＵＶテープ、ＤＡＦテープなど多種のテープの貼り付けに対応。 〔プリカットテープ対応〕　通常テープに比べ貼り付け可能枚数がアップ。大幅なコストメリットが可能。カット工程がないのでパーティクルの心配も無く、フレームも傷めない。 〔ヒーター機能〕　難粘着テープ、ＤＡＦテープの貼り付けも可能。（オプション） 〔高さ調整機能〕　多種のワーク厚に対応するため高さ調整機能。（オプション）