福山産業技術マップ
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 製品・部品分類  >電気機械器具  >液晶製造装置

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 4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000
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 4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット FTVHR4000 

大型ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボット

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送

・アームバリエーション:550mm、750mm、800mm、820mm

・旋回角度:330度

・耐真空度:1.0×10−6Pa 

・リンク式採用により、優れた直進性、高温対応、低パーティクルを実現

・ツインアーム採用による、基板入れ替え時間の短縮化

・全軸サーボモータ駆動と最適加減速制御により高速、高精度に搬送

・動作モニター装備

・制御方式:RS232C、及びパラレルフォトI/O

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