製品・部品紹介

製品・部品名	卓上型２・３・４インチ対応顕微鏡ローター装置
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計
説明	商品名：ＳＹＡＲ１１０－００３３０－０ 机１個程度のコンパクトな広さで、卓上型ロボットを用い、ウェハーをカセットから顕微鏡ステージに移動することができる。卓上式装置のため、コンパクトで安価な仕上がりです。 ２・３・４インチのガリウムヒ素、ガリリン、シリコン、サファイアの各基板を卓上式シングルアームロボットＡＲ１３００－２００を用いて、カセットから抜き取り顕微鏡ステージへ供給。パソコンにインストールされた専用のソフトウェアでロボット、照明観察ユニットのティーチング機能、カセット指定および抜き取り位置、搬送位置の指定ができる。非常停止スイッチ、アクリル板を装備することで、オペレーターの安全を確保している。

製品・部品名	直動式ダブルアームロボット
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計
説明	商品名：ＨＲ７１０００－１５００ 被搬送物：２４インチ　１．１厚さ　ガラス基板 搬送速度：Ｒ１・２軸　１０００ｍｍ／１．２ｓｅｃ 　　　　　θ軸　１８０度／２．５ｓｅｃ 　　　　　Ｚ軸　１５００ｍｍ／２．５ｓｅｃ 重量：ロボット本体　約１９５ｋｇ アーム、上下軸ともにそれぞれロングストロークです。ロボット本体の構造部材として使用する板金の比率を上げることにより、従来品より大幅に製造コストを削減しました。高剛性設計により、第３世代のガラス基板を高速搬送できる。

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製品・部品名	リンク式シングルアームロボット
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計
説明	商品名：ＰＲ１１１１－２００－ＭＰ－ＲＴ 被搬送物：５６・８インチ　シリコンウェハ 搬送速度：Ｒ軸　３５４ｍｍ／０．８ｓｅｃ 　　　　　θ軸 １８０度／０．８ｓｅｃ 　　　　　Ｚ軸　２００ｍｍ／０．８sec 　　　　　ＲＴ軸　１８０度／１．２sec 重量：ロボット本体　約２０ｋｇ 板金化の比率を高め、構造を単純化することにより、製造コストを削減し、低価格を実現。高剛性仕様により、安定した高速搬送を実現した。ハンド部はステッピングモータ駆動によって１８０度反転可能で、回転軸は原点センサー、モータ脱調検出センサ及び１８０°位置センサを装備している。チャックはアルミニウムの積構造による特殊型。