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産業技術マップ

Fukuyama city's Industrial technology

産業技術マップ

企業No.317

アテル株式会社

TEL 084-971-7010

http://www.atel-corp.co.jp/

Email: info@atel.jp

アテル株式会社

2004年創業以来、半導体・液晶用ウェハ搬送クリーンロボットに代表される搬送機器の製品を提供してきた。板金加工を中心に独自技術を多用し、低価格で高性能な製品を提供している。また、小型軽量化し卓上でクリーン搬送を実現でき、地球環境に優しくCO2削減に大きく貢献できる卓上型クリーン搬送システムを開発している。

製品・部品紹介

卓上型2・3・4インチ対応顕微鏡ローター装置
製品・部品名 卓上型2・3・4インチ対応顕微鏡ローター装置
分 類 生産用機械器具
技術分野 設計
説明 商品名:SYAR110-00330-0
机1個程度のコンパクトな広さで、卓上型ロボットを用い、ウェハーをカセットから顕微鏡ステージに移動することができる。卓上式装置のため、コンパクトで安価な仕上がりです。

2・3・4インチのガリウムヒ素、ガリリン、シリコン、サファイアの各基板を卓上式シングルアームロボットAR1300-200を用いて、カセットから抜き取り顕微鏡ステージへ供給。パソコンにインストールされた専用のソフトウェアでロボット、照明観察ユニットのティーチング機能、カセット指定および抜き取り位置、搬送位置の指定ができる。非常停止スイッチ、アクリル板を装備することで、オペレーターの安全を確保している。
直動式ダブルアームロボット
製品・部品名 直動式ダブルアームロボット
分 類 生産用機械器具
技術分野 設計
説明 商品名:HR71000-1500
被搬送物:24インチ 1.1厚さ ガラス基板
搬送速度:R1・2軸 1000mm/1.2sec
     θ軸 180度/2.5sec
     Z軸 1500mm/2.5sec
重量:ロボット本体 約195kg

アーム、上下軸ともにそれぞれロングストロークです。ロボット本体の構造部材として使用する板金の比率を上げることにより、従来品より大幅に製造コストを削減しました。高剛性設計により、第3世代のガラス基板を高速搬送できる。
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直動式ダブルアームロボット
製品・部品名 リンク式シングルアームロボット
分 類 生産用機械器具
技術分野 設計
説明 商品名:PR1111-200-MP-RT
被搬送物:56・8インチ シリコンウェハ
搬送速度:R軸 354mm/0.8sec
     θ軸 180度/0.8sec
     Z軸 200mm/0.8sec
     RT軸 180度/1.2sec
重量:ロボット本体 約20kg

板金化の比率を高め、構造を単純化することにより、製造コストを削減し、低価格を実現。高剛性仕様により、安定した高速搬送を実現した。ハンド部はステッピングモータ駆動によって180度反転可能で、回転軸は原点センサー、モータ脱調検出センサ及び180°位置センサを装備している。チャックはアルミニウムの積構造による特殊型。

企業情報

企業名 アテル株式会社
企業ナンバー 317
代表者名 光吉敏彦(みつよしとしひこ)
所在地 〒721-0958 広島県福山市千代田町1-13-31
TEL 084-971-7010
FAX 084-953-5330
メールアドレス info@atel.jp
ホームページ http://www.atel-corp.co.jp/
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創業 2004年
資本金 1,000 万円
従業員 15人
業種 生産用機械器具製造業
加工分野 設計、塑性、切断、溶接、表面処理、組立
特異技術 小型高速搬送ロボット技術
製品・部品 1 卓上型2・3・4インチ対応顕微鏡ローター装置
2 直動式ダブルアームロボット
3 リンク式シングルアームロボット
会社動向 2008年:「セミコン・ジャパン2008」に板金ロボット新製品出展
2009年:世界初卓上システム開発
      PRロボット開発
      「セミコン・ジャパン2009」に卓上システム出展
2010年:「第21回マイクロマシン/MEMS展」に卓上システム出展
      ロボット開発
      韓国の会社と技術提携
      台湾、韓国での売上大幅に増加HR
主要取引先 伊藤忠マシンテクノス(株)、因幡電機産業(株)

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