製品・部品紹介

製品・部品名	ウエハーソーター
分　類	電気機械器具
技術分野	設計、組立
説明	半導体の基板であるシリコンウエハーにマーキングされたＩＤを読み取り、ウエハーの仕分け･分類などを行うウエハーソーター。多機能、高信頼性の高速読み取りソーター。ＦＯＵＰロードポートを搭載している。 （オプションでＦＯＳＢ対応可能） ･内部のロボットには磁性流体シールとフルカバースカートを採用し、優れたクリーン性能を発揮。 ･中段差圧プレートを採用し、搬送部付近を低発塵化。 ･デュアルアームロボットにより高速動作。 ･エッジクランプタイプのロボットにより、ウエハー裏面へのパーティクルの付着を防止。

製品・部品名	ウエハー搬送ロボット
分　類	電気機械器具
技術分野	設計、組立
説明	半導体の基板であるシリコンウエハーを半導体製造工程内で搬送するロボット。ロボット自体からの発塵がほとんど無いため、クリーンな環境下でウエハを搬送し、塵による汚染を防ぐことができる。 ･独自の制御機器により低速域から高速域まで振動の無い滑らかな動作を実現。 ･３６０度全方位アクセスが可能なため、多彩なレイアウトに対応。 ･上下フィンガによる同時アクセスでスループットの短縮が可能。 ･独自のアームダイレクト駆動方式により、駆動部のバックラッシュを抑え、停止位置精度を向上。 ･全軸にアブソリュートエンコーダを採用し原点サーチが不要。 ･部品点数を大幅に削減することで信頼性の向上。 ･アーム／旋回軸の補完制御により３００ｍｍ　２Ｐｏｒｔの走行軸レスのレイアウトが可能。 ･サクションＦＡＮによる内圧制御によりクリーン度 ＩＳＯ ＣＬＡＳＳ１対応。

さらに製品紹介みる

製品・部品名	制御機器
分　類	電気機械器具
技術分野	設計、組立
説明	サーボモーター及びステッピングモーターを制御するコントローラー。半導体･液晶ガラス基板搬送ロボットの主力コントローラーとして使われている。 ･滑らかな動きを実現するＳ字加減速を自由に組み合わせて制御が可能。 ･複数のモータを連携させて制御することが可能で、スカラ型ロボットで円弧･直線補間制御が可能。 ･エンコーダ取り付けにより、位置の補正と脱調検出が可能。 ･ユーザープログラムの使用で、スタンドアロン動作、シーケンサーでの制御が可能。 ･軽量･コンパクト（２９．５☓８６☓６９ｍｍ）で、ＤＩＮレールへの取り付けも可能。