製品・部品紹介

製品・部品名	プラズマ用高周波電源
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計、組立
説明	主に半導体製造工程において使用される製造装置に搭載するプラズマ用高周波電源。 主に半導体製造工程において最も広く使用されているプラズマを発生させるために用いる機器で、通常マッチングユニットと組み合わせて使用。　 出力、周波数、搭載装置の機種、用途などの組合せにより、様々な種類を保有。

製品・部品名	フッ素系地球温暖化ガス分解装置
分　類	電気機械器具
技術分野	設計、組立
説明	ＶＡＷプラズマ 水壁中でのプラズマ反応により、半導体製造工程で使用されるフロンガスなど地球温暖化ガスを無害な物質に分解して、排出する装置。 高温な大気圧プラズマを利用し、環境改善商品として開発の最終段階にある。 当面の用途は、半導体・液晶製造産業で使用されているエッチング・チャンバークリーニングガスであるＰＦＣ、冷蔵庫・空調装置等に用いられる冷媒フロンガスの破壊であり、これらのフッ素系ガスは、水素や酸素と反応し炭酸ガスやフッ化水素（ＨＦ）に変化し、有害なＨＦは、水に吸収され安全に処理される。

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製品・部品名	マイクロ波プラズマ装置
分　類	電気機械器具
技術分野	設計、組立、その他
説明	医療用マイクロプラスター 低温大気圧プラズマトーチを医療に応用。患部にプラズマを照射して、滅菌処理を行なうシステム。 低温な大気圧プラズマを利用したプラズマトーチの医療への応用。プラズマトーチのバクテリアへの殺菌・滅菌効果を利用し、現在ドイツミュンヘン市内の病院にて臨床試験中。