製品・部品紹介

製品・部品名	３軸円筒座標型クリーンロボット　ＳＣＲ３０００シリーズ
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計、組立
説明	スーパークリーンルーム用３軸円筒座標型ロボットシリーズ 半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送ロボット ・アームバリエーション：１００ｍｍ、１３０ｍｍ、１６０ｍｍ、２００ｍｍ ・旋回角度：３４０度 ・Ｚ軸バリエーション：２００ｍｍ、３００ｍｍ、４００ｍｍ、５００ｍｍ ・可搬重量：アーム第３関節換算３ｋｇｆ以下 ・クリーン対応：真空ラインには、０．１μｍメッシュフィルタ装備 ・装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ・動作モニター装備 ・制御方式：ＲＳ２３２Ｃ及びパラレルフォトＩ／Ｏ ・全軸２相パルスモータ使用 ・Ｓ字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ・ウエハ保持：真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ・チャック材質はＣＦＲＰ、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ・被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

製品・部品名	４軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　ＦＴＶＨＲ４０００
分　類	電気機械器具
技術分野	設計、組立
説明	大型ガラス基板対応４軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボット 液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送 ・アームバリエーション：５５０ｍｍ、７５０ｍｍ、８００ｍｍ、８２０ｍｍ ・旋回角度：３３０度 ・耐真空度：１．０×１０－６Ｐａ　 ・リンク式採用により、優れた直進性、高温対応、低パーティクルを実現 ・ツインアーム採用による、基板入れ替え時間の短縮化 ・全軸サーボモータ駆動と最適加減速制御により高速、高精度に搬送 ・動作モニター装備 ・制御方式：ＲＳ２３２Ｃ、及びパラレルフォトＩ／Ｏ

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製品・部品名	光学式アライナ　ＳＡＬ３８Ｃ２
分　類	生産用機械器具
技術分野	設計、組立
説明	２００～３００ｍｍ対応 半導体製造装置内、検査装置等のウエハの位置決めを必要とする搬送に対応 ・被搬送物：ＳＥＭＩ規格　２００～３００ｍｍシリコンウエハ ・位置決め時間：センタリング　３ｓｅｃ ・位置決め精度：センタリング　±０．１ｍｍ以内　オリフラ（ノッチ）ロケート±０．１度以内 ・センサ：可視半導体レーザーセンサ ・サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ・クリーン度：ＩＳＯクラス２（駆動部排気時） ・駆動方式：２相ステッピングモータ３軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵 ・電源／真空：ＤＣ２４Ｖ±１０％　３Ａ／５３ｋＰａ以上 ・シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め ・クリーン対応：スピンドル側に０．１μｍのフィルタ装備 ・制御方式：ＲＳ２３２Ｃ及びパラレルフォトＩ／Ｏ ・従来機種ＳＡＬ４６Ｃ６に対して約５０％の小フットプリント化を実現