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 製品・部品分類  >生産用機械器具  >半導体製造装置

15 件の製品・技術データがあります
1-10 件目/15件を表示  1  2  [次へ >>] 

 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000シリーズ
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 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000シリーズ 

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送ロボット

・アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm

・旋回角度:340度

・Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm

・可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下

・クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備

・装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

・動作モニター装備

・制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O

・全軸2相パルスモータ使用

・S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送

・ウエハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック

・チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

・被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 

株式会社ジェーイーエル >> 企業紹介ページへ 

 光学式アライナ SAL38C2
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 光学式アライナ SAL38C2 

200〜300mm対応

半導体製造装置内、検査装置等のウエハの位置決めを必要とする搬送に対応

・被搬送物:SEMI規格 200〜300mmシリコンウエハ

・位置決め時間:センタリング 3sec

・位置決め精度:センタリング ±0.1mm以内 オリフラ(ノッチ)ロケート 

          ±0.1度以内

・センサ:可視半導体レーザーセンサ

・サイズ切替:コマンド制御による切替または通信

・クリーン度:ISOクラス2(駆動部排気時)

・駆動方式:2相ステッピングモータ3軸使用 モータドライバ、コントローラ内蔵

・電源/真空:DC24V±10% 3A/53kPa以上

・シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

・クリーン対応:スピンドル側に0.1μmのフィルタ装備

・制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O

・従来機種SAL46C6に対して約50%の小フットプリント化を実現

株式会社ジェーイーエル >> 企業紹介ページへ 

 プラズマ用高周波電源
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 プラズマ用高周波電源 

主に半導体製造工程において使用される製造装置に搭載するプラズマ用高

周波電源。

株式会社アドテックプラズマテクノロジー >> 企業紹介ページへ 

 全自動レーザーマーキングシステム
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 全自動レーザーマーキングシステム 

半導体デバイス、ウエハーなどに機種名、ファクトリコード、デートコード等を

ーザーマーキングする装置。

株式会社サンエス >> 企業紹介ページへ 

 ウエハ用自動バランス機能付スピンドライヤー
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 ウエハ用自動バランス機能付スピンドライヤー 

高速回転による遠心力と気流により、ウエハーを乾燥させる装置(特許取得済

み)。ウエハー枚数差によるアンバランスを自動で補正しウエハーにダメージを

与えず素早い乾燥が可能。 4〜12インチ用(マニュアルタイプからインライン

タイプ)

大宮工業株式会社 >> 企業紹介ページへ 

 テープマウンター
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 テープマウンター 

ダイシング工程にて、プリカットされたダイシングテープをウエハーとフレーム

に貼り付ける装置。感圧テープ、UVテープ、DAFテープなど多種のテープの貼

り付けに対応。

大宮工業株式会社 >> 企業紹介ページへ 

 ウエハーソーター
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 ウエハーソーター 

半導体の基板であるシリコンウエハーにマーキングされたIDを読み取り、ウエ

ハーの仕分け・分類などを行うウエハーソーター。

ローツェ株式会社 >> 企業紹介ページへ 

 ウエハー搬送ロボット
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 ウエハー搬送ロボット 

半導体の基板であるシリコンウエハーを半導体製造工程内で搬送するロボット。

ロボット自体からの発塵がほとんど無いため、クリーンな環境下でウエハを搬送

し、塵による汚染を防ぐことができる。

ローツェ株式会社 >> 企業紹介ページへ 

 液晶及びPDP用基板搬送装置
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 液晶及びPDP用基板搬送装置 

大型基板の加熱・冷却やPPケースへの挿入などを、基板機種変更に柔軟に、

省スペースで対応できる設備。

日本ターニング株式会社 >> 企業紹介ページへ 

 卓上型2・3・4インチ対応顕微鏡ローター装置
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 卓上型2・3・4インチ対応顕微鏡ローター装置 

商品名:SYAR110−00330−0

机1個程度のコンパクトな広さで、卓上型ロボットを用い、ウェハーをカセットか

ら顕微鏡ステージに移動することができる。卓上式装置のため、コンパクトで安

価な仕上がりです。

アテル株式会社 >> 企業紹介ページへ 

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